“中芯國際北京廠經(jīng)過5年多的努力,幫助國內(nèi)裝備、材料及零部件企業(yè)實(shí)現(xiàn)了技術(shù)成果的產(chǎn)業(yè)化,逐步打破國外廠商的技術(shù)封鎖和壟斷。”當(dāng)中芯北方集成電路制造(北京)有限公司總經(jīng)理張昕在日前于寧波北侖舉辦的“中國半導(dǎo)體材料及零部件發(fā)展2017年會(huì)”上說出上述一番話時(shí),與會(huì)的國內(nèi)300多名半導(dǎo)體材料及零部件供應(yīng)商代表的臉上無不流露出興奮的神情,曾經(jīng)是國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈最弱環(huán)節(jié)的國產(chǎn)材料和零部件,終于可以堂而皇之地進(jìn)入下游集成電路制造企業(yè)了。電子實(shí)驗(yàn)?zāi)K
國產(chǎn)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)增長態(tài)勢明顯
材料和零部件作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán),在整個(gè)產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著重要的基礎(chǔ)性支撐作用。近年來,國家和企業(yè)不斷加大在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的投入,資料顯示,2015-2016年兩年累計(jì)研發(fā)投入38.3億元,是2005-2009年5年間年均投入的7.1倍;2015-2016年兩年累計(jì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展投入41.5億元,已達(dá)到前5年總體投入的1/2。
集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟秘書長石瑛介紹說,由于持續(xù)的投入及不斷創(chuàng)新,近年來,中國半導(dǎo)體制造材料產(chǎn)業(yè)保持持續(xù)增長態(tài)勢。2008年之前,8~12英寸晶圓制造材料幾乎100%依賴進(jìn)口,到2016年年底,F(xiàn)AB廠單廠采購比例超過50%的材料品種已達(dá)27種,其中包括電子氣體、CMP拋光液、靶材、光刻膠、工藝化學(xué)品及硅片。2016年,中國半導(dǎo)體材料企業(yè)銷售收入達(dá)到256億元。預(yù)計(jì)2018年后,中國將成為全球第三大市場。
“到2020年,我國半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)規(guī)模化、集聚化發(fā)展態(tài)勢將基本形成,同時(shí)也將建成較為完善的新材料標(biāo)準(zhǔn)體系,形成一批具有國際影響力的新材料公司。到2021年,國內(nèi)半導(dǎo)體材料市場規(guī)模將突破1200億元,其中300mm產(chǎn)能的材料市場將超過70%,小于20納米工藝的材料市場將超過30%。本地材料市場占有率將超過50%,部分材料將進(jìn)入國際材料采購體系。”這些數(shù)據(jù),對(duì)石瑛來說早已了然于胸。
加快本地供應(yīng)鏈形成 上下游企業(yè)展開合作
材料供應(yīng)鏈的本土化,不僅有利于制造成本的控制、服務(wù)的快速及時(shí)響應(yīng)、技術(shù)的安全可控,它所形成的產(chǎn)業(yè)協(xié)同效應(yīng)好處更多。
石瑛介紹說,目前,我國在集成電路制造用硅材料、掩模、電子氣體、工藝化學(xué)品、光刻膠、拋光材料、靶材、封裝材料領(lǐng)域已經(jīng)有一批相關(guān)的企業(yè),也擁有生產(chǎn)這些材料的有色金屬、有機(jī)、無機(jī)化工等礦產(chǎn)資源優(yōu)勢,關(guān)鍵基礎(chǔ)原材料的品質(zhì)提升也逐漸進(jìn)入行業(yè)視線。
張昕提供的數(shù)據(jù)對(duì)石瑛的介紹進(jìn)行了詮釋:“截至目前,在國產(chǎn)化設(shè)備方面,中芯國際北京廠國產(chǎn)化工藝占比15.6%;在國產(chǎn)材料領(lǐng)域,采購比例達(dá)到11.3%;在國產(chǎn)零部件領(lǐng)域,采購比例達(dá)到16.2%。”
然而,進(jìn)入集成電路制造企業(yè)供應(yīng)鏈?zhǔn)且粋€(gè)漫長而系統(tǒng)的工作,即使國內(nèi)半導(dǎo)體材料企業(yè)已經(jīng)有了替代產(chǎn)品,但若客戶不了解,就不會(huì)使用。因此,與會(huì)代表建議,半導(dǎo)體材料及零部件企業(yè)要在品質(zhì)、物流等管理上和客戶保持一致,還要讓上游企業(yè)的工程、技術(shù)、質(zhì)量等部門與下游客戶全方位對(duì)接,尊重客戶每個(gè)部門的意見和建議。他們希望上游供應(yīng)商和下游制造企業(yè)進(jìn)行彈性合作、戰(zhàn)略合作,下游制造企業(yè)能夠定期指導(dǎo)工作。同時(shí),國內(nèi)材料企業(yè)也能和客戶共同開發(fā)新產(chǎn)品和新配方。
引導(dǎo)行業(yè)整合和國內(nèi)外并購發(fā)展
通過并購方式加快企業(yè)自身的發(fā)展速度,從而帶動(dòng)整個(gè)材料業(yè)的發(fā)展,也是近年來國內(nèi)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)出的新特點(diǎn)。
石瑛給記者羅列了以下幾個(gè)成功案例:
2014年5月,上海新傲與法國Soitec公司結(jié)成合作伙伴關(guān)系,在中國提供一流的SOI晶圓制造能力,并面向全球?yàn)镾oitec生產(chǎn)200mm SOI晶圓片。未來雙方將繼續(xù)擴(kuò)大合作范圍,發(fā)揮協(xié)同優(yōu)勢,在中國建立SOI生態(tài)系統(tǒng)。
2016年8月,雅克科技收購韓國UP Chemical的100%股權(quán),生產(chǎn)CVD/ALD前驅(qū)體;2017年10月收購成都科美特特種氣體有限公司90%股權(quán),主要生產(chǎn)六氟化硫和四氟化碳。
2017年3月,巨化集團(tuán)收購德國漢高集團(tuán)環(huán)氧模塑料業(yè)務(wù)100%股權(quán)以及相關(guān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)、著名商標(biāo)、研發(fā)資產(chǎn)和海內(nèi)外營銷渠道。
石瑛表示,跨國兼并重組不但可以吸收國際先進(jìn)技術(shù),擁有業(yè)內(nèi)著名品牌,更可以在很大程度上提高國內(nèi)半導(dǎo)體材料企業(yè)在人才、技術(shù)、質(zhì)量、服務(wù)方面的競爭力。
與會(huì)不少代表表示,他們希望通過集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟尋找合適的國際企業(yè)進(jìn)行合作,如通過技術(shù)培訓(xùn)的方式,學(xué)習(xí)國外公司先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)和管理經(jīng)驗(yàn),從而進(jìn)行產(chǎn)品更新、結(jié)構(gòu)調(diào)整、品質(zhì)提升、營銷創(chuàng)新和售后服務(wù)的升級(jí)。
政策引導(dǎo) 打造企業(yè)發(fā)展資本通道
雖然國內(nèi)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展近來漸入佳境,但未來的路仍充滿荊棘。本次會(huì)議,演講嘉賓說得最多的一個(gè)詞是“情懷”,默默耕耘在這個(gè)領(lǐng)域的企業(yè)家不愿放棄這個(gè)陣地,但僅靠情懷又無濟(jì)于事。
為此,他們呼吁,國內(nèi)材料和零部件企業(yè)應(yīng)該開展合作,優(yōu)勢互補(bǔ),共同攻關(guān)。同時(shí),國家也應(yīng)出臺(tái)相關(guān)政策,鼓勵(lì)下游制造企業(yè)積極使用國產(chǎn)材料和零部件,在生產(chǎn)線上配置一定比例的國產(chǎn)材料和零部件。安集微電子(上海)有限公司董事長兼首席執(zhí)行官王淑敏表示,目前國家針對(duì)材料企業(yè)有一些優(yōu)惠政策,但申請、審批流程很繁瑣,應(yīng)該減少中間環(huán)節(jié)。也有企業(yè)代表建議成立公共的檢測平臺(tái),政府適當(dāng)補(bǔ)貼平臺(tái)的運(yùn)行。
任何產(chǎn)業(yè)的發(fā)展都離不開資金的支持,技術(shù)密集型的半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)更是如此。
為此,集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟發(fā)起設(shè)立了盛芯材料產(chǎn)業(yè)投資基金,致力于成為我國集成電路材料領(lǐng)域的行業(yè)引導(dǎo)基金?;鹨黄谝延诮赵O(shè)立完成,規(guī)模為2億元,出資人包括業(yè)內(nèi)四家上市公司(浙江巨化、南大光電、上海新陽、金力泰),以及具有集成電路業(yè)內(nèi)豐富投資經(jīng)驗(yàn)的寧波芯空間。
石瑛強(qiáng)調(diào),盛芯基金將依托產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟豐富的企業(yè)資源和產(chǎn)業(yè)鏈合作優(yōu)勢,結(jié)合戰(zhàn)略合作伙伴廣泛的海外資源及02專項(xiàng)和國家相關(guān)科技計(jì)劃產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目庫資源,海內(nèi)外多渠道廣泛收集項(xiàng)目源,推動(dòng)圍繞國內(nèi)優(yōu)勢企業(yè)的產(chǎn)業(yè)整合。截至目前,基金一期投資業(yè)務(wù)已有序展開,已儲(chǔ)備十余個(gè)擬投資項(xiàng)目。