EUV終于進(jìn)入量產(chǎn)階段,部分尖端芯片制造商計(jì)劃在2018年或最遲2019年初采用。ASML總裁兼執(zhí)行長Peter Wennink在2017年表示,“EUV進(jìn)入大量芯片制造的準(zhǔn)備工作將進(jìn)一步加快”。

ASML 2017年?duì)I收達(dá)到13.4億美元,并在第四季額外接單10臺EUV系統(tǒng),目前ASML手中累積未出貨的EUV設(shè)備訂單高達(dá)28臺。

ASML指出,隨著該公司持續(xù)支持中國不斷擴(kuò)展的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),2016年半導(dǎo)體制造設(shè)備對中國的銷售額增加了20%以上,除了出貨在中國營運(yùn)的外資晶圓廠,ASML還計(jì)劃于2018年向5家中國本土客戶供貨。

EUV營收占比創(chuàng)新高,ArF-immersion仍是黃光設(shè)備市場規(guī)模最大宗產(chǎn)品

晶圓制造導(dǎo)入EUV的消息延宕多時,由于先進(jìn)制程僅采用浸潤式曝光機(jī)(ArF-immersion)進(jìn)行黃光制程難以繼續(xù)為廠商帶來成本效益,半導(dǎo)體廠商不得不致力于將EUV的導(dǎo)入成為現(xiàn)實(shí),也因此EUV對ASML的營收占比上升是可預(yù)期的結(jié)果,先進(jìn)制程導(dǎo)入EUV。

雖然減少前段晶體管制程key-layer的光罩?jǐn)?shù)目,將大幅減少ArF-immersion在Key-layer的使用,但晶體管微縮使得金屬導(dǎo)線線寬也進(jìn)一步微縮,基于成本考量廠商仍會采用ArF-immersion進(jìn)行部分金屬導(dǎo)線制程,加上存儲器廠商的產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)增,ArF-immersion仍是受廠商仰賴的黃光設(shè)備。

中國對設(shè)備廠商的影響力上升

esmc03231529ASML于中國當(dāng)?shù)氐臓I收及積壓待配訂貨統(tǒng)計(jì),source:拓墣產(chǎn)業(yè)研究院

如圖所示,ASML出貨于中國當(dāng)?shù)氐狞S光設(shè)備營收貢獻(xiàn)逐年提升,2017年已達(dá)7.2億美元,占ASML總營收11.3%,雖然相對臺灣、韓國及美國占比仍小,但已是5年前的2.1倍,成長不可謂不大,加上中國當(dāng)?shù)氐姆e壓待配訂貨(Backlog)也創(chuàng)下新高達(dá)到8億美元。

顯然可見中國對半導(dǎo)體制造業(yè)的投資力道未見停歇,對ASML而言,中國的影響力越來越大,同樣的中國對其他半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)及相關(guān)材料廠商也是如此,未來可預(yù)見中國的半導(dǎo)體供應(yīng)鏈越趨完整。