據中國法院網消息，科創(chuàng)板首批上市公司之一的中微半導體設備（上海）有限公司被卷入威科儀器行政專利糾紛案。

根據法院起訴狀副本顯示，起訴方是威科儀器有限公司起訴被告國家知識產權局、第三人中微公司專利行政糾紛，該案目前已被北京知識產權法院受理，法院將于2020年9月10日下午14時開庭審理此案。

截至發(fā)稿前，中微公司未對該案予以置評。

國際電子商情小編了解到，這起訴訟可以追溯到2017年的一起專利無效案。

2017年5月，中微半導體向國家知識產權局申請對威科儀器的專利進行無效宣告，而國家知識產權局于2017年9月開始審理，并于2018年1月決定由威科儀器申請的“通過化學汽相沉積在晶片上生長外延層的無基座式反應器（專利號 018225507.1）”發(fā)明專利無效。

而威科儀器對國家知識產權局審理的專利無效決定感到不滿，并向北京知識產權法院提起行政訴訟，該案于2018年被受理，定于2020年9月10日下午14時開庭審理。

據了解，“化學氣相沉積裝置”專利涉及的MOCVD裝置為生產半導體器件如發(fā)光二極管（LED）芯片的核心設備，占據半導體行業(yè)價值鏈的重要位置，對產業(yè)發(fā)展具有重要影響。

而中微半導體在2018年時也因為相關專利被其競爭對手之一——維易科精密儀器就該專利提出無效宣告請求。

2018年，維易科精密儀器國際貿易（上海）有限公司于2018年就專利權人中微半導體設備（上海）有限公司的實用新型專利權（專利號：ZL201220056049.5）提出的無效宣告請求，國家知識產權局原專利復審委員會經審理作出審查決定，在修改后的權利要求書的基礎上維持中微半導體專利權有效。

據悉，該設備包括旋轉的主軸和隨之轉動的托盤。在工作時，芯片放置在托盤上，并由托盤帶動其進行轉動，同時通過氣相沉積工藝在芯片表面沉積外延層。半導體芯片的高度精密性對于托盤轉動的平穩(wěn)性和精度有著極高要求。涉案專利就是對于主軸和托盤之間連接方式的改進。